本发明基于通过光路放大悬臂梁挠度变化的原理，设计出一种拥有高精度、高分 辨率的光电式微拉力检测传感器。首先，采用三维建模软件，按照激光发射机 构、载荷机构、反射机构、聚焦机构和 QD 检测机构的功能划分，构建出微力检测 传感器的结构模型。其中聚焦机构和 QD 检测机构采用一维和二维移动机构进行调 整，从而改变光路参数。本文对受力的悬臂梁进行建模和有限元仿真分析，得出挠 度和悬臂梁受力的变化关系。最后，采用光学仿真软件对传感器光路进行仿真分析， 推导出该微力传感器的传力公式并进行了误差分析，分析结果表明该微力传感器能 够精确测量范围在 0-10g 之间的微拉力，测量精度达 0.110%，分辨率为 0.272mg， 达到了设计的要求。 该发明提供了一种微力检测装置，以解决传统力传感器的分辨率低的问题。釆 用光电结合的方法检测微力，操作简便，测量稳定，分辨率高。
（1）先进性： 相对于国内传统的微力测量技术，此产品的能够测量的精度提高，能更好的服 务于航空航天，智慧医疗，农业，精密仪器等领域的测量工作。便于科研工作者进 行更精确的科学研究。国内市场庞大。
（2）实用性： 此产品的制作成本相对较低，能够达到大多数科研机构或者公司的消费水平， 且性价比高，消费群体多。此产品应用的是光和电组合的技术，绿色环保，稳定性 强，受环境的影响小。
（3）创新性： 基于微机传感器的感知系统，很大一方面扩展了微力传感器的作用，与各领域 紧密的结合，不仅仅限于简单的测量，基于测量的数据，通过计算机相应软件的处 理，实现对于其他装置的自动控制或者处理出用户想要的数据。