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作品名称:MPCVD真空谐振腔升降工作台 结构设计 学校名称:山东理工大学 参赛队伍:望雨周知 队伍编号:198055 参赛学生:初秉烨 王治政 指导老师:于文强 投票日期:2024年10月08日 00:00->2024年12月05日 15:00 请在微信端进行投票。点此扫描二维码。
微波等离子化学气相沉积(MPCVD)的实验原理是将微波发生器产生的微波经过天线耦合达到指定频率进入反应腔,同时,要在反应腔中加入一定的反应气体(CH4或H2等),微波即电磁波可以激发反应气体,激发后就产生了等离子体,等离子体能以一定的速率沉积到基底上,从而形成了金刚石膜。
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