随着纳米技术的深入发展,纳米尺度的器件制备已成为集成电路、光学器件等领域的研究焦点。本产品基于纳米压印技术,使用软压方案,并结合市场调研,同时设计压印、加压、加热、散热 等结构的桌面式小型纳米压印机,主需求在高校实验教学。至今已制作出实物并通过实际验证,解决常规设备结构复杂、造价高昂、使用等问题,为低端压印机市场开辟了新一片新天地。
目前市场上的纳米压印机主要是面向科研院校的,少数面向企业,这些设备精度
高,结构和功能复杂,同时价格昂贵,通常一台设备要上百万。因此,迫切需要一种小
型、可视、便捷、经济的纳米压印机。
本机器整体采用模块化设计,按照功能分为压力控制模块、温度控制模块和紫外曝光模块。各模块之间保持相互独立,方便设计、改进,也方便制造、维修。压力模块选用微型两用真空泵和扩散硅压力变送器,实现精确的压力控制;温度模块采MCH高温陶瓷加热片和PID控制,保证快速且均匀的加热。控制系统采用触摸屏PLC一体机,提供图形化用户界面,简化操作流程。
设备的主要操作步骤如下:
(1)将模板和样品按顺序放入样品台;
(2)拧紧压盖;
(3)设置压印温度、压力等参数;
(4)点击开始压印按钮,设备自动完成抽真空,加热,加压,保温保压、冷却等步骤;
(5)屏幕显示完成压印后,拧开压盖,打开上腔,取出样品。
本作品拥有以下特点:(1)装置小型化:目前纳米压印机产品以工业级产品为主体积较为庞大,结构较为复杂,后续检修等使用、维护成本较高。故设计一款小型化机型。(2)过程可视化:通过装置上端的玻璃可视窗可以实时观察生产加工过程,若作为较为教学仪器便于任课老师讲解其工作原理及工作过程。(3)设计集成化:装控制面板由多个集成电路控制单元组成,包含气泵控制系统、温度控制系统、加料出料控制系统等。(4)成本节约化:结构简单、装拆方便,作为教具使用时可以按需拆装,为学生演示该设备的具体原理。同时,也便于后期维护。